產(chǎn)品描述
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Cooller縮寫為MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter縮寫為MFM）,用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。
S49 31 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)特點(diǎn)：
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定可靠。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行計(jì)量。
S49 31 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)主要應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制；
各種形式的真空鍍膜設(shè)備；
環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測(cè)和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測(cè)系統(tǒng)等。
S49系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)型號(hào)
S49 31 系列質(zhì)量流量控制器，S49為質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品，31/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計(jì)序列號(hào)。
其中：S49 31/MT 系列為質(zhì)量流量控制器。
S49 31A/MT 系列為質(zhì)量流量計(jì)。
質(zhì)量流量計(jì)用于氣體質(zhì)量流量測(cè)量計(jì)量；質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量計(jì)量功能，還具有自動(dòng)控制氣體流量的功能。
S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計(jì)技術(shù)指標(biāo)
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編號(hào) |
項(xiàng)目 |
S49 31/MT |
S49 31A/MT |
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1 |
流量規(guī)格 |
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min |
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2 |
調(diào)節(jié)閥類型 |
電磁調(diào)節(jié)閥 |
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3 |
調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) |
常閉 |
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4 |
準(zhǔn)確度 |
±1%F.S(10mL/min～5L/min規(guī)格，其余規(guī)格≤±2% F.S) |
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5 |
線性 |
±1.0%F.S，±1.5%F.S |
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6 |
重復(fù)精度 |
±0.2%F.S |
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7 |
響應(yīng)時(shí)間 |
(3～4)s |
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8 |
工作壓差范圍 |
(0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min |
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9 |
耐壓 |
3MPa; 10MPa |
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10 |
工作環(huán)境溫度 |
5℃～45℃ |
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11 |
材料 |
不銹鋼316L |
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12 |
標(biāo)準(zhǔn)密封材料 |
Viton®， EPDM， 或其他由用戶指定 |
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13 |
漏率 |
1×10-9atm.mL/s (He) |
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14 |
接頭 |
Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其他 |
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15 |
輸入輸出信號(hào) |
0V～＋5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA) |
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16 |
供電電源 |
±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） |
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17 |
外形尺寸mm |
134×134×38 |
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18 |
重量kg |
1.0 |
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北京堀場(chǎng)匯博隆準(zhǔn)確儀器有限公司是一支由中方經(jīng)營(yíng)管理，中日雙方共同協(xié)作的全部化團(tuán)隊(duì)，是由大部分國(guó)家熱式質(zhì)量流量控制器（MFC）制造商——HORIBA STEC與中國(guó)知名熱式質(zhì)量流量控制器(MFC)制造商——北京匯博隆儀器有限公司共同出資成立，是以研發(fā)、生產(chǎn)、銷售熱式質(zhì)量流量控制器為主業(yè)的高新技術(shù)企業(yè)。 公司經(jīng)營(yíng)層和整個(gè)全部化團(tuán)隊(duì)堅(jiān)持"群策群力，持續(xù)發(fā)展，立足國(guó)內(nèi)，走向世界"的企業(yè)總體發(fā)展方向。力循"中外結(jié)合，品質(zhì)為本"的經(jīng)營(yíng)理念，努力在人才、技術(shù)、生產(chǎn)、工藝、質(zhì)量、市場(chǎng)、服務(wù)等各個(gè)方面引入和完善現(xiàn)代企業(yè)經(jīng)營(yíng)管理機(jī)制，以適應(yīng)大部分國(guó)家經(jīng)濟(jì)整體化的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)，為加速我國(guó)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展貢獻(xiàn)一份力量。