產(chǎn)品描述
用途:用于半導體器件工藝中氮化硅、二氧化硅、多晶硅的薄膜制備
特點:一次設(shè)定自動完成,可另配氣柜。真空系統(tǒng)可選配進口機組
主要技術(shù)指標:制備3-4吋氮化硅、多晶硅和二氧化硅薄膜;溫度:400~900℃;
恒溫區(qū)600mm±0.5℃;真空系統(tǒng)機械泵+羅茨泵,配有抽氣冷井;
控溫器采用進口5吋觸摸屏;通入氣體SIH4/NH3/N2;
進口質(zhì)量流量計控制;閥門用進口氣動閥和減壓閥;動作順序為PLC編程控制;
薄膜壓力控制器加閥閉環(huán)控制壓強
青島育豪微電子設(shè)備有限公司:是集科研、制造、銷售、服務為一體的高新技術(shù)企業(yè), 主要從事太陽能光伏設(shè)備,微電子工藝設(shè)備及高精度自動控制系統(tǒng)的設(shè)計、制造與服務。經(jīng)青島市委、市政府批準,被青島工商行政管理局視為守合同、重信譽單位。 公司坐落于青島市城陽區(qū),地處跨海大橋膠州灣高速,地理交通十分便利,廠房面積5000平方米,固定資產(chǎn)2000多萬元。有高等工程師5名,工程師10名,技術(shù)員20名,人員總計80多名。公司的主要產(chǎn)品有整機類:太陽能擴散爐,LPCVD,PECVD,Φ80-Φ500mm口徑高溫擴散爐,Φ150-Φ350mm口徑臥式電腦控溫真空燒結(jié)爐、H2燒結(jié)爐、鏈(帶)式燒結(jié)爐、井式(立式)燒結(jié)爐、砷化鎵、氮化鎵單晶爐等專項使用太陽能光伏,半導體前、中工序?qū)m検褂迷O(shè)備。備件類有:專項使用引進國外擴散爐提供加熱爐體控溫儀表改造。特別是在縮小擴散爐類與國外差距方面,我公司得到業(yè)內(nèi)相關(guān)人士大力支持與協(xié)助,完全代替進口設(shè)備。公司已成為有經(jīng)驗制造半導體工藝設(shè)備,砷化鎵工藝設(shè)備,航空航天及國家***單位專項使用的工藝設(shè)備的知名企業(yè)。產(chǎn)品覆蓋全國31個省、市、自治區(qū)、直轄市育豪公司已于 2007年通過GB/T19001-2000(ISO9001:2000)質(zhì)量管理體系認證,并且獲得2012年山東省AAA級信用企業(yè)榮譽稱號,以及青島市重合同守信譽企業(yè)。公司積較參與市場競爭和全部合作,為國家863計劃等重大科技攻關(guān)項目中做出了突出貢獻。不但為國有大中型企業(yè)服務,同時也為合資、獨資等外資企業(yè)服務。公司始終堅持“質(zhì)量是企業(yè)的生命,誠信是立足的根本,服務是發(fā)展的保障”的經(jīng)營方針,始終保持誠信本色,始終堅持不斷創(chuàng)新,時時刻刻把客戶的需求放在重要地位,贏得了客戶良好的贊譽。