產(chǎn)品描述
VTC-2RF是一款小型的射頻(RF)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng),系統(tǒng)中包含了所有所需的配件,如300W(13.5MHz)的RF電源、2"的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗幫手。
技術(shù)參數(shù)
輸入電源 |
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等離子源 |
一個300W,13.5MHz的射頻電源安裝在移動柜內(nèi)
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磁控濺射頭 |
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真空腔體 |
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載樣臺 |
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真空泵 |
可選用直聯(lián)式雙極旋片泵,也可選用德國制作的分子泵系統(tǒng) |
薄膜測厚儀 |
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外形尺寸 |
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質(zhì)保和質(zhì)量認證 |
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使用注意事項 |
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☆合肥科晶材料技術(shù)有限公司☆是美國MTI公司與中科院安徽光機所于1997年合資(MTI公司占80.23%的股份)興辦的高新技術(shù)企業(yè),位于安徽省合肥市科學路10號,注冊資金4200萬元, 公司董事長江曉平博士畢業(yè)于東北大學(1981)。在中科院金屬所授教師昌緒院士獲博士學位(1988),并在美國麻省理工學院師從M.C.Flemings教授任博士后研究員(1988-1991)。是較早回國創(chuàng)業(yè)的留學生之一。曾獲教育部“留學生”稱號。
公司有經(jīng)驗從事光電晶體材料的生長、定向、切割、研磨、拋光、鍍膜等,擁有成套先進加工設(shè)備和工藝。公司員工大都具有10年以上晶體生長、定向、切割、研磨、拋光等豐富而有經(jīng)驗的加工經(jīng)驗,公司率先在行業(yè)內(nèi)成立了MgAl2O4,LaAlO3, SrTiO3等十多種氧化物基片質(zhì)量標準。擁有先進而完善的檢驗手段: 多功能工具顯微鏡、rocking curve搖擺曲線測定儀、X Ray定向儀、AFM原子力顯微鏡、XRD粉末衍射儀等,加工的產(chǎn)品達到超光滑(小于<高等)、超潔凈(1000級超凈室檢驗、100級超凈臺和100級超凈袋封裝)、超平(厚度公差較高達3um)。 目前主要產(chǎn)品有☆高溫超導薄膜基片☆;☆磁性鐵電/壓電外延薄膜基片☆;☆半導體基片☆;☆金屬單晶☆/多晶基片☆;濺射靶材(包括近50余種陶瓷靶材、單晶靶材、金屬靶材和合金靶材等)以及各種粉料、包裝盒☆等。晶體基片從A~Z達上百種,規(guī)格型號上千種,是目前大部分國家非常大的能批量生產(chǎn)單晶基片的廠家之一;產(chǎn)品從原材料采購、生產(chǎn)制作、包裝檢驗,每一步都嚴格控制,確保品質(zhì)。從而保證了產(chǎn)品質(zhì)量優(yōu)、價位低、交貨迅速。
為滿足客戶需求,公司從01年開始推出材料實驗室成套設(shè)備,包括“混料-壓料-燒料-分析料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐和小型X射線衍射儀)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、802自動拋光機和1502自動拋光機等)。在過去的一里年又新增添了成套新型能源材料制備相關(guān)設(shè)備產(chǎn)品,其中包括“混料-燒料-分析-涂層-成型-封裝-測試”(球磨機、高溫高壓爐、材料分析儀、涂層機、軋機、切片機、封裝機、電池分析儀)。公司自主研發(fā)生產(chǎn)可提供上百款產(chǎn)品不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及超快速升溫產(chǎn)品其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐及電池研發(fā)相關(guān)等實驗室設(shè)備,設(shè)計獨特、人性化,性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,廣泛應用于材料、物理、化學、冶金、灰化、齒科、新型能源研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶較端好評,同時,由于我們產(chǎn)品的優(yōu)良性能,科晶的設(shè)備更是遠銷美國,歐洲,日本等許多國家,令挑剔的外國客商也稱贊不已。
為了更好的服務客戶,我公司設(shè)有材料制備體驗中心、電池研發(fā)制備體驗中心及材料檢驗中心,可對外提供晶體材料生長、切磨拋、樣品檢驗等相關(guān)服務,歡迎客戶帶樣品來我公司實驗室進行試加工,以方便客戶了解我們產(chǎn)品的性能;同時我公司的有經(jīng)驗技術(shù)人員也可以提供技術(shù)建議與方案,使客戶能夠了解買到較適合的加工工藝及設(shè)備;另外,我公司還提供完善的售后服務,您在購買產(chǎn)品后遇到疑難問題時,我們將全力為您排憂解難。
科晶公司成立十三年來,我們正以實際行動努力將自己打造成國內(nèi)晶體材料及材料制備相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域的品牌。我們有強大的銷售團隊,售后服務團隊及不斷開拓新型市場的市場團隊,完善的實驗中心。相信不久的將來,科晶的品牌同樣會在全部市場上成為有經(jīng)驗與杰出性價比的代名詞。
美麗的科學島期待您的光臨,科晶期待您的光臨。