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300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀

300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀

品牌:合肥科晶材料技術(shù)有限公司
單價:電議
最小起訂量: 1
  • 所在地:安徽 合肥
  • 供貨總量:10
  • 發(fā)貨期:3天
  • 發(fā)布時間:2014-12-05 13:26:58

聯(lián)系方式

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產(chǎn)品描述

   VTC-2RF是一款小型的射頻(RF)等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng),系統(tǒng)中包含了所有所需的配件,如300W13.5MHz)的RF電源、2"的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜,它是一款物美價廉的實驗幫手。

技術(shù)參數(shù)

輸入電源

  • 220VAC 50/60Hz, 單相
  • 800W  (包括真空泵)

等離子源

一個300W,13.5MHz的射頻電源安裝在移動柜內(nèi)

300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀(點擊圖片查看詳細資料)

 

磁控濺射頭

  • 一個 2英寸磁控濺射頭(帶有水冷夾層),采用快速接頭與真空腔體相連接
  • 靶材尺寸直徑為50mm,厚度6.35mm
  • 一個快速擋板安裝在法蘭上(手動操作,見圖左3)
  • 濺射頭所需冷卻水:流速10ml/min(儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環(huán)水冷機)
  • 同時可選配1英寸濺射頭
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真空腔體

  • 真空腔體:160 mm OD x 150 mm ID x  250mm H,采用高純石英制作
  • 密封法蘭:直徑為165 mm .  采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封
  • 一個不銹鋼網(wǎng)罩住整個石英腔體,以屏蔽等離子體
  • 真空度:10-3 Torr (采用雙極旋片真空泵)
  •         10-5 torr (采渦旋分子泵)

載樣臺

  • 載樣臺可旋轉(zhuǎn)(為了制膜更加均勻)并可加熱
  • 載樣臺尺寸:直徑50mm (可放置2英寸的基片)
  • 旋轉(zhuǎn)速度:1 - 20 rpm
  • 樣品的加熱溫度為700℃,(短期使用,恒溫不超過1小時),長期使用溫度500℃
  • 控溫精度+/- 10
    300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀

真空泵

可選用直聯(lián)式雙極旋片泵,也可選用德國制作的分子泵系統(tǒng)

   300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀

薄膜測厚儀

  • 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上,可實時監(jiān)控薄膜的厚度,分辨率為0.10 Å  
  • LED顯示屏顯示,同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
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外形尺寸

              300W射頻等離子磁控濺射鍍膜儀

質(zhì)保和質(zhì)量認證

  • 一年質(zhì)保期,終生維護
  • CE認證

使用注意事項

  • 這款2英寸的射頻濺射鍍膜儀主要是用于在單晶基片上制備氧化物膜,所以并不需要太高的真空度
  • 為了較好地排出真空腔體中的氧氣,建議用5%H2+95 %N2對真空腔體清洗,可有效減少真空腔體中的氧含量
  • 請用純度大于5N的Ar來進行等離子濺射,甚至5NAr中也含有10- 100 ppm的氧和水,所以建議將鋼瓶中的惰性氣體通過凈化系統(tǒng)過后,再導入到真空腔體內(nèi)
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合肥科晶材料技術(shù)有限公司

 合肥科晶材料技術(shù)有限公司是美國MTI公司與中科院安徽光機所于1997年合資(MTI公司占80.23%的股份)興辦的高新技術(shù)企業(yè),位于安徽省合肥市科學路10號,注冊資金4200萬元, 公司董事長江曉平博士畢業(yè)于東北大學(1981)。在中科院金屬所授教師昌緒院士獲博士學位(1988),并在美國麻省理工學院師從M.C.Flemings教授任博士后研究員(1988-1991)。是較早回國創(chuàng)業(yè)的留學生之一。曾獲教育部“留學生”稱號。

 

    公司有經(jīng)驗從事光電晶體材料的生長、定向、切割、研磨、拋光、鍍膜等,擁有成套先進加工設(shè)備和工藝。公司員工大都具有10年以上晶體生長、定向、切割、研磨、拋光等豐富而有經(jīng)驗的加工經(jīng)驗,公司率先在行業(yè)內(nèi)成立了MgAl2O4,LaAlO3, SrTiO3等十多種氧化物基片質(zhì)量標準。擁有先進而完善的檢驗手段: 多功能工具顯微鏡、rocking curve搖擺曲線測定儀、X Ray定向儀、AFM原子力顯微鏡、XRD粉末衍射儀等,加工的產(chǎn)品達到超光滑(小于<高等)、超潔凈(1000級超凈室檢驗、100級超凈臺和100級超凈袋封裝)、超平(厚度公差較高達3um)。 目前主要產(chǎn)品有高溫超導薄膜基片;磁性鐵電/壓電外延薄膜基片;半導體基片金屬單晶☆/多晶基片;濺射靶材(包括近50余種陶瓷靶材、單晶靶材、金屬靶材和合金靶材等)以及各種粉料、包裝盒等。晶體基片從A~Z達上百種,規(guī)格型號上千種,是目前大部分國家非常大的能批量生產(chǎn)單晶基片的廠家之一;產(chǎn)品從原材料采購、生產(chǎn)制作、包裝檢驗,每一步都嚴格控制,確保品質(zhì)。從而保證了產(chǎn)品質(zhì)量優(yōu)、價位低、交貨迅速。

 

     為滿足客戶需求,公司從01年開始推出材料實驗室成套設(shè)備,包括“混料-壓料-燒料-分析料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐和小型X射線衍射儀)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、802自動拋光機和1502自動拋光機等)。在過去的一里年又新增添了成套新型能源材料制備相關(guān)設(shè)備產(chǎn)品,其中包括“混料-燒料-分析-涂層-成型-封裝-測試”(球磨機、高溫高壓爐、材料分析儀、涂層機、軋機、切片機、封裝機、電池分析儀)。公司自主研發(fā)生產(chǎn)可提供上百款產(chǎn)品不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及超快速升溫產(chǎn)品其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐及電池研發(fā)相關(guān)等實驗室設(shè)備,設(shè)計獨特、人性化,性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,廣泛應用于材料、物理、化學、冶金、灰化、齒科、新型能源研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶較端好評,同時,由于我們產(chǎn)品的優(yōu)良性能,科晶的設(shè)備更是遠銷美國,歐洲,日本等許多國家,令挑剔的外國客商也稱贊不已。

 

     為了更好的服務客戶,我公司設(shè)有材料制備體驗中心、電池研發(fā)制備體驗中心及材料檢驗中心,可對外提供晶體材料生長、切磨拋、樣品檢驗等相關(guān)服務,歡迎客戶帶樣品來我公司實驗室進行試加工,以方便客戶了解我們產(chǎn)品的性能;同時我公司的有經(jīng)驗技術(shù)人員也可以提供技術(shù)建議與方案,使客戶能夠了解買到較適合的加工工藝及設(shè)備;另外,我公司還提供完善的售后服務,您在購買產(chǎn)品后遇到疑難問題時,我們將全力為您排憂解難。

 

     科晶公司成立十三年來,我們正以實際行動努力將自己打造成國內(nèi)晶體材料及材料制備相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域的品牌。我們有強大的銷售團隊,售后服務團隊及不斷開拓新型市場的市場團隊,完善的實驗中心。相信不久的將來,科晶的品牌同樣會在全部市場上成為有經(jīng)驗與杰出性價比的代名詞。

 

     美麗的科學島期待您的光臨,科晶期待您的光臨。


商品評價

好評
83%
83%
中評
17%
17%
差評
0%
0
  • 網(wǎng)友

    和鋁產(chǎn)品很多大品牌都合作過,今年找了合肥科晶材料技術(shù)有限公司合作,目前過程非常愉快,人也非常好溝通。

    2020-01-24

  • 網(wǎng)友

    合肥科晶材料技術(shù)有限公司的很多產(chǎn)品都值得購入,管式爐,箱式爐,高溫爐,馬弗爐,高溫高壓爐,CVD爐,快速升溫管式,回轉(zhuǎn)爐也是很全面的了,看了他們的一些公開的資料,對他們接下來的發(fā)展很有信心。

    2019-06-03

  • 網(wǎng)友

    網(wǎng)上聯(lián)系過合肥科晶材料技術(shù)有限公司,還給我們提供了很多樣品和資料,細心又耐心。

    2018-04-23

  • 網(wǎng)友

    價格真實,沒有落差,合肥科晶材料技術(shù)有限公司還會進行產(chǎn)品的推薦,老板幽默風趣,整個洽談過程很愉快。

    2017-05-02

  • 網(wǎng)友

    和朋友一起參觀了合肥科晶材料技術(shù)有限公司的工廠,規(guī)模挺大的,生產(chǎn)的效率很高,還用了智能化的技術(shù),提高的效率。

    2015-10-24

  • 網(wǎng)友

    合肥科晶材料技術(shù)有限公司的幾款管式爐,箱式爐,高溫爐,馬弗爐,高溫高壓爐,CVD爐,快速升溫管式,回轉(zhuǎn)爐是非常值得推薦的,很看好這個品牌。不僅轉(zhuǎn)印膜質(zhì)量好,而且只要疑問都會很耐心的解答,祝生意越做越大!

    2015-07-13

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