產(chǎn)品描述
光纖激光晶圓劃片機
型號:OOI-FJ20
規(guī)格:光纖激光晶圓劃片機
光纖晶圓激光劃片機產(chǎn)品介紹：
自主研發(fā)的紅外激光晶圓劃片機OOI-FJ20具有全部先進水平，采用1064nm紅外激光作為切割工具，切割線條質量優(yōu)越，無接觸式加工避免加工產(chǎn)生應力，可以提高晶粒的切割質量和效率，切割后的芯片具有優(yōu)良的電學特性。該機具有劃片速度快、操作便捷、維護成本低等優(yōu)點，適用于半導體制造行業(yè)單臺面玻璃鈍化二較管晶圓的切割劃片。
光纖晶圓激光劃片機產(chǎn)品優(yōu)勢：
1.切割速度快，對于單臺面玻璃鈍化二較管晶圓的切割速度達到了150mm/s，是傳統(tǒng)刀片劃片機正切速度的15-20倍、背切速度的3-5倍；
2.加工品質高，光束質量好，適用于準確、精細劃片，切割過程無機械應力產(chǎn)生，有效減少芯片背崩及微裂紋；
3.運行成本低，平均無故障使用時間可達10萬小時，電光轉換效率高，設備功率低于2KW，長期使用可為用戶節(jié)省大量的能耗支出；
4.操作簡便，自主知識產(chǎn)權的操作軟件，功能強大，能對40mm以下的正方形芯片圖像識別自動對位切割。
5.歐屹光電OOI-FJ20紅外激光晶圓劃片機主要應用于半導體制造行業(yè)單臺面玻璃鈍化二較管晶圓的切割劃片。
光纖晶圓激光劃片機技術參數(shù)：
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名稱 |
光纖晶圓激光劃片機? |
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波長 |
1064nm |
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激光功率 |
20W |
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定位精度 |
±3μm |
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XY光柵尺分辨率 |
0.1μm |
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Z軸精度 |
±1μm |
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旋轉軸精度 |
±20″ |
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CCD定位精度 |
1-2μm |
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重復定位精度 |
±1μm |
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工作臺有效行程 |
300mm×300mm |
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非常大切割尺寸 |
6英寸 |
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切割線寬 |
30-50μm |
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切割高層度 |
80-120μm |
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切割速度 |
1-150mm/s |
湖北省武漢市江夏區(qū)藏龍島科技園楊橋湖大道13號
武漢歐屹光電科技有限公司背景：
武漢歐屹光電科技有限公司成立于2013年4月，坐落于美麗的中國光谷——武漢東湖高新技術開發(fā)區(qū)，湯遜湖畔。武漢歐屹光電科技有限公司，依托華中科技大學，武漢理工大學等科研院校指導，在光電、激光和工業(yè)自動化集成、太陽能光伏行業(yè)擁有多年從業(yè)經(jīng)驗的研發(fā)銷售團隊，具有雄厚的科研、生產(chǎn)、加工能力，我們致力于為國內外客戶提供完整的工業(yè)激光應用和自動化集成解決方案提供商，開拓全部市場光電應用市場和太陽能組件產(chǎn)線封裝產(chǎn)線市場。定位于激光準確微細加工與自動化配套的結合；尤其是在激光在工業(yè)自動化產(chǎn)線、準確加工、光伏行業(yè)的實際工程應用與推廣。在全部光伏市場太陽能電池組件半自動，全自動產(chǎn)線廠房設計，設備提供安裝，人員培訓全套完整方案。
武漢歐屹光電科技有限公司成立于2013年4月，坐落于美麗的中國光谷——武漢東湖高新技術開發(fā)區(qū)。武漢歐屹光電科技有限公司聚集擁有在激光和太陽能光伏行業(yè)擁有多年從業(yè)經(jīng)驗的研發(fā)銷售團隊，具有雄厚的科研、生產(chǎn)、加工能力，我們致力于為國內外客戶提供完整的工業(yè)激光應用解決方案提供商，開拓全部市場太陽能組件產(chǎn)線封裝設備。定位于激光準確微細加工與自動化配套的結合；尤其是在激光在光伏行業(yè)的實際工程應用與推廣；激光在工業(yè)自動化產(chǎn)線上的實際工程應用與推廣。在全部光伏市場太陽能電池板半自動，全自動產(chǎn)線廠房設計，設備提供安裝，人員培訓全套完整方案。