稀土
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福建聯(lián)合新材料科技有限公司
福建 福州
作為半導體製造設備內(nèi)部的保護性塗層，半導體乾蝕設備內(nèi)部暴於高反應性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁以原本狀態(tài)使用，則會發(fā)生表面腐蝕而伴隨著生成粒子，其造成半導體上之微
鋁稀土合金的性能和用途
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廣東沃德環(huán)保新材料有限公司
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