產(chǎn)品描述
電子級(jí)三氯氧磷
一、分子式：POCl3
二、分子量：153.35
三、理化性質(zhì):
無(wú)色透明揮發(fā)性液體，具有強(qiáng)烈的性氣味。易水解于潮濕的空氣中，生成磷酸和鹽酸。熔點(diǎn)為1.25℃，沸點(diǎn)為102℃，相對(duì)密度為1.675。蒸發(fā)熱33.7kJ/mol。接近300℃時(shí)，仍很穩(wěn)定。遇到大量水時(shí)會(huì)發(fā)生有毒性和腐蝕性。
四、用途:
主要用于芯片的N型摻雜，是制作集成電路、太陽(yáng)能電池、光纖預(yù)制棒、分離器件等的液態(tài)磷源，是芯片制程中必須的電子化學(xué)品，同時(shí)電子級(jí)三氯氧磷也是制作高純磷酸酯的原料。
供應(yīng)半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積材料，專(zhuān)業(yè)研發(fā)及制造各種先進(jìn)CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學(xué)氣相沉積材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。
鉻靶材,錫靶材,鋅靶材,鋁靶材,硅靶材,鋅錫合金靶材,錫鎘合金靶材,銦錫合金靶材,銅銦鎵硒合金靶材,銅銦鎵合金靶材,鈦鋁合金靶材,鎳鉻合金靶材,鎳釩合金靶材,硅鋁合金靶材,鋅鋁合金靶材,鍺銻碲合金靶材,氧化鋅鋁靶材,氧化銦錫靶材。鋁銅合金靶材（Al-Cu），鋁鉻合金靶材（Al-Cr），鋁鎂合金靶材（Al-Mg），鋁硅合金靶材（Al-Si），鋁銀合金靶材（Al-AG），鈰釓合金靶材（CE-Gd），鈰釤合金靶材（CE-Sm），鉻硅合金靶材（Cr-Si），鈷鉻合金靶材（Co-Cr），鈷鐵合金靶材（Co-Fe），鈷鐵硼合金靶材（Co-Fe-B），銅鈷合金（Cu／Co），銅鎵合金靶材（Cu-Ga），銅銦合金靶材（CuIn），銅鎳合金靶材（Cu-Ni），銅鋯合金靶材（Cu-Zr），鉿鐵合金（HfFe），鐵硼合金（Fe-B），鐵碳合金（Fe-C），鐵錳合金（Fe-Mn），銥錳合金（IR-Mn），銥錸合金（IR-Re），銦錫合金（In-Sn），鉬硅合金靶材（Mo-Si），鎳鋁合金靶材（Ni-Al），鎳鉻合金靶材（Ni-Cr），鎳鉻硅合金靶材（Ni-Cr-Si），鎳鐵合金靶材（Ni-Fe），鎳鈮鈦合金靶材（NiNbTi），鎳鈦合金靶材（Ni-Ti），鎳釩合金靶材（Ni-V），釤鈷合金靶材（Sm-Co），銀銅合金靶材（AG-Cu），銀錫合金靶材（AG-Sn），鉭鋁合金靶材（Ta-Al），鋱鏑鐵合金靶材（TbDyFe），鋱鐵合金靶材（TbFe），鈦鋁合金靶材（TiAl），鈦鎳合金靶材（TiNi），鈦鉻合金靶材（TiCr），鎢錸合金靶材（WRe），鎢鈦合金靶材（WTi），鋯鋁合金靶材（ZrAl），鋯鐵合金靶材（Zr-Fe），鋯鎳合金靶材（Zr-Ni），鋯鈮合金靶材（ZrNb），鋯鈦合金靶材（ZrTi），鋯釔合金靶材（ZrY），鋅鋁合金靶材（ZnAl），鋅鎂合金靶材（ZnMg）等