產(chǎn)品描述
電子級反式-1，2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC（DCE）
|
名稱 |
反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC |
|
化學式 |
C2H2Cl2 |
|
相對分子量 |
96.94 |
|
CAS號 |
156-60-5 |
|
理化性質(zhì) |
無色略帶氣味液體，熔點－57℃，沸點48℃，密度1.265g/ml。易燃，其蒸氣與空氣可形成性混合物。與能發(fā)生強烈反應。與酸堿需隔離存放。 |
主要用途:
高純度氯源，主要用于晶圓制造過程中加快硅片氧化和清洗爐管。是半導體、分立器件、微機電系統(tǒng)（MEMS）、光伏制造業(yè)所需的電子化學品。
CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學氣相沉積材料
|
Dielectrics PMD/IMD |
TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB |
|
Low K Dielectrics |
4MS ,OMCATS |
|
High K Dielectrics |
TAETO (Ta2O5 Precursor ) TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor) TMA (Al2O3 Precursor) |
|
Metal Gate and Interconnect Metal |
TDMAT (TiN Precursor ) TiCl4 ( Ti /TiN Precursor ) |
|
Low-Temp Nitride/Oxide |
HCDS |
|
Diffusion |
POCl3 |
鉻靶材,錫靶材,鋅靶材,鋁靶材,硅靶材,鋅錫合金靶材,錫鎘合金靶材,銦錫合金靶材,銅銦鎵硒合金靶材,銅銦鎵合金靶材,鈦鋁合金靶材,鎳鉻合金靶材,鎳釩合金靶材,硅鋁合金靶材,鋅鋁合金靶材,鍺銻碲合金靶材,氧化鋅鋁靶材,氧化銦錫靶材。鋁銅合金靶材（Al-Cu），鋁鉻合金靶材（Al-Cr），鋁鎂合金靶材（Al-Mg），鋁硅合金靶材（Al-Si），鋁銀合金靶材（Al-AG），鈰釓合金靶材（CE-Gd），鈰釤合金靶材（CE-Sm），鉻硅合金靶材（Cr-Si），鈷鉻合金靶材（Co-Cr），鈷鐵合金靶材（Co-Fe），鈷鐵硼合金靶材（Co-Fe-B），銅鈷合金（Cu／Co），銅鎵合金靶材（Cu-Ga），銅銦合金靶材（CuIn），銅鎳合金靶材（Cu-Ni），銅鋯合金靶材（Cu-Zr），鉿鐵合金（HfFe），鐵硼合金（Fe-B），鐵碳合金（Fe-C），鐵錳合金（Fe-Mn），銥錳合金（IR-Mn），銥錸合金（IR-Re），銦錫合金（In-Sn），鉬硅合金靶材（Mo-Si），鎳鋁合金靶材（Ni-Al），鎳鉻合金靶材（Ni-Cr），鎳鉻硅合金靶材（Ni-Cr-Si），鎳鐵合金靶材（Ni-Fe），鎳鈮鈦合金靶材（NiNbTi），鎳鈦合金靶材（Ni-Ti），鎳釩合金靶材（Ni-V），釤鈷合金靶材（Sm-Co），銀銅合金靶材（AG-Cu），銀錫合金靶材（AG-Sn），鉭鋁合金靶材（Ta-Al），鋱鏑鐵合金靶材（TbDyFe），鋱鐵合金靶材（TbFe），鈦鋁合金靶材（TiAl），鈦鎳合金靶材（TiNi），鈦鉻合金靶材（TiCr），鎢錸合金靶材（WRe），鎢鈦合金靶材（WTi），鋯鋁合金靶材（ZrAl），鋯鐵合金靶材（Zr-Fe），鋯鎳合金靶材（Zr-Ni），鋯鈮合金靶材（ZrNb），鋯鈦合金靶材（ZrTi），鋯釔合金靶材（ZrY），鋅鋁合金靶材（ZnAl），鋅鎂合金靶材（ZnMg）等